分子泵维修详细操作解决方法

作者：创始人　日期：2021-09-18　人气：908

分子泵维修技术：分子泵维修故障出现状况，对于真空泵的检查细节，以及维修操作解决方法。各种分子泵维修，如维修涡轮分子泵，维修磁悬浮分子泵，普发分子泵维修等。

分子泵故障以及维修详细操作解决方法

真空泵故障现象	真空泵检查	维修操作
系统通电时，LED没有闪烁0.5秒	电源是否出现故障	确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。
发送并行“启动”命令后泵不旋转	检查电源是否打开并且故障输出是否活动	如果有故障信号，应检查橙色状态LED是否闪烁。如果出现闪烁，则应参见章节5.5.1.如果电源已打开、没有故障信号并且转轴任然不旋转，则表示泵出现故障。
发送串行“启动”命令后泵不旋转	检查泵是否回复“启动”命令	如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“串行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。
泵在多站模式下不响应	检查是否启用多站模式	确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。
橙色状态LED闪烁错误代码	注意每个序列6下闪烁中长闪烁的位置，以解读错误代码。	查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作
运行时额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障	入口压力是否过高？	如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大泄漏。
	泵运行时是否太热？	增加泵的冷却。可能需要从通风冷却变成水冷。可能需要增大冷却水流量或降低水温或同时采取这两种措施。检查外部热源确保没有辐射过多热量。
	转轴旋转是否顺畅？	如果不是，泵轴承可能已损坏。
无法达到极限压力	压力是否因水蒸气而受限？	烘烤系统和泵。
	是否任何真空压力表有污物？	如果是这样，应清洁或更换。
	抽取速度是否不足（由于泵和压力表接触不良或中间有太大的腔）？	使其接触良好或减小体积。
	层间入口压力是否>0.5mbar(50pa)	如果层间入口压力太大，涡轮分子泵上的入口压力会增大；应确保层间入口压力<0.5mbar(50 pa)。
	前级压力是否>10mbar?	如果是这样，前级压力可能太大。检查后备管道是否有泄漏。如果对处理能力要求较高，则可能需要更大的后备泵。
	系统的高真空区域是否有污物？	如果是这样，应清洁高真空系统。
	检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。	如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。
泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现	泵转速与所连接系统的共振频率是否相同？	如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动风箱隔离泵。
	震动是从转动的后备泵传递过来的吗？	如果是这样，则应在后备线路中安装活动风箱或隔振器。
	噪音是不是不规则并且越来越糟糕？	如果是这样，则表示轴承有瑕疵。
	泵是不是发出持续的啸叫？	如果是这样，则表示转轴失衡。
真空泵故障现象	真空泵检查	维修操作
系统通电时，LED没有闪烁0.5秒	电源是否出现故障	确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。
发送并行“启动”命令后泵不旋转	检查电源是否打开并且故障输出是否活动	如果有故障信号，应检查橙色状态LED是否闪烁。如果出现闪烁，则应参见章节5.5.1.如果电源已打开、没有故障信号并且转轴任然不旋转，则表示泵出现故障。
发送串行“启动”命令后泵不旋转	检查泵是否回复“启动”命令	如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“串行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。
泵在多站模式下不响应	检查是否启用多站模式	确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。
橙色状态LED闪烁错误代码	注意每个序列6下闪烁中长闪烁的位置，以解读错误代码。	查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作
运行时额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障	入口压力是否过高？	如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大泄漏。
	泵运行时是否太热？	增加泵的冷却。可能需要从通风冷却变成水冷。可能需要增大冷却水流量或降低水温或同时采取这两种措施。检查外部热源确保没有辐射过多热量。
	转轴旋转是否顺畅？	如果不是，泵轴承可能已损坏。
无法达到极限压力	压力是否因水蒸气而受限？	烘烤系统和泵。
	是否任何真空压力表有污物？	如果是这样，应清洁或更换。
	抽取速度是否不足（由于泵和压力表接触不良或中间有太大的腔）？	使其接触良好或减小体积。
	层间入口压力是否>0.5mbar(50pa)	如果层间入口压力太大，涡轮分子泵上的入口压力会增大；应确保层间入口压力<0.5mbar(50 pa)。
	前级压力是否>10mbar?	如果是这样，前级压力可能太大。检查后备管道是否有泄漏。如果对处理能力要求较高，则可能需要更大的后备泵。
	系统的高真空区域是否有污物？	如果是这样，应清洁高真空系统。
	检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。	如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。
泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现	泵转速与所连接系统的共振频率是否相同？	如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动风箱隔离泵。
	震动是从转动的后备泵传递过来的吗？	如果是这样，则应在后备线路中安装活动风箱或隔振器。
	噪音是不是不规则并且越来越糟糕？	如果是这样，则表示轴承有瑕疵。
	泵是不是发出持续的啸叫？	如果是这样，则表示转轴失衡。

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